GasPro^TM  TEM-1700全316L超高纯度在线过滤器

GasPro^TM TEM-1700系列过滤器专为在高达200标准升每分钟(slpm) 和200ºC (392ºF)的条件下，过滤3nm颗粒而设计。

其全316L不锈钢焊接结构提供了出色的烘烤特性，实现快速干燥和在线验证。

GasPro^TM TEM-1700系列产品采用标准的半导体行业接口，便于安装。

规 格

•  过滤精度

有效过滤3nm颗粒

• 最高工作温度

在惰性气体环境中可高达200°C (392°F)

• 最高工作压力

1700, 1740和1770 系列：在20°C (68°F)时可承受206.8 bar (3,000 psig)。

典型应用

• 气体柜和特种气体管道的过滤。

• 气体面板的点对点工艺气体过滤。

特点和优势

• 结构

采用全316L不锈钢烧结纤维介质和硬件，确保耐用性和高纯度。

• 电抛光外壳

过滤器组件具有小于10Ra的电抛光316L不锈钢外壳，可防止腐蚀和内表面颗粒堆积。

• 出厂清洁度

GasPro™ TEM-1700过滤器在洁净室中进行清洁和包装，确保无有机物处理，实现开箱即用的无颗粒、无化学污染的清洁度。最终组装时使用过滤后的氮气进行吹扫，以确保初始清洁度，并可根据需要进行额外的预处理。

• 100%氦气泄漏测试

 所有单元均经过1x10⁻⁹ atm cc/秒的氦气泄漏测试，确保密封性。

注：以上仅列出部分型号，更多长度和接口选项，请联系北京乐天堂fun88科技有限公司。